Aus der Forschung

Micro plasma arrays

Mikrokavitäten-Plasma-Arrays bestehen aus Tausenden von geometrisch identischen Mikrokavitäten, die bis zu Abmessungen von mehreren dm2 hergestellt werden können. Je nach angelegtem elektrischem Feld, Polarität und Druck breiten sich die Entladungen aus den Kavitäten aus. Umschließt man die Array-Struktur mit einem zweiten Dielektrikum in einem geringen Spaltabstand, so entsteht ein In-Plasma-Katalysator-Reaktor. Diese Geräte erlauben es auch, dielektrische, katalytische Oberflächen als Kavitätenboden zu integrieren. Neben der direkten Gasreformierung wird das Plasma auch zur "Reinigung" und "Auffrischung" von besetzten katalytischen Oberflächenplätzen eingesetzt. Die Plasmaparameter sowie die Entladungsverteilung innerhalb und oberhalb der Kavitäten sind stark abhängig von extern steuerbaren Parametern wie Kavitätsgröße, Druck und Spannung.